CF-Kupferdichtungen (auch ConFlat-Kupferdichtungen) sind
spezielle Dichtungen, die in Hochvakuum- und Ultrahochvakuum-Systemen verwendet
werden. Sie sorgen für eine gasdichte Verbindung zwischen zwei Flanschen.
Beim
Verschrauben zweier CF-Flansche wird die Kupferdichtung zwischen ihnen
mechanisch verformt. Dadurch passt sie sich exakt an die Dichtflächen an und
verschließt die Verbindung absolut luftdicht – selbst bei extrem niedrigem
Druck (bis zu 10⁻¹²
mbar).
Wichtig: Sie
sind nur einmal verwendbar – beim Öffnen der Verbindung müssen sie ersetzt
werden.
Übersicht der
unterschiedlichen Materialbeschaffenheit:
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Ungeglühte Kupferdichtung
– Standardausführung, mechanisch fest
→ Geeignet für einfache
Vakuumanwendungen oder Vorvakuum
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Vakuumgeglühte Kupferdichtung
– Weicher und spannungsfrei, mit
besonders niedriger Ausgasrate
→ Ideal für Ultrahochvakuum (UHV) bis
in den 10⁻¹²
mbar-Bereich
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Versilberte Kupferdichtung
– Silberbeschichtung reduziert
Festfressen
→ Empfohlen bei häufigem Öffnen und
Schließen der Verbindung
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Versilbert & vakuumgeglühte
Kupferdichtung
– Kombiniert niedrige Ausgasung und
gute Wiederlösbarkeit
→ Optimal für kritische UHV-Systeme in
Forschung oder Halbleitertechnik
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